| 激光干涉仪 |
| BG11017108 2008-6-27 发明申请 |
| 2009-12-31 |
| 激光干涉仪用于测量在宽动态范围的衍射，反射相干和过渡通过所检查的物体(激光)的光，用于以确定的坐标它们的表面上的点，以确定它们的位移，以确定折射系数中的差异的照明时与不同的光波长。本发明可以实时控制精度的形状细节，模具，模具，机床元件和反射镜的反射表面构成，控制行程的发生变化的细节，设施，建筑施工，用于生物对象的范围内和从整体尺寸的物体粘合于其单独的建筑构件(生物物体到的细胞和亚分子水平的)。连续激光干涉仪由位于和光学相连的激光器(1)，膨胀机(2)，空间滤波器(3)，准直器(4)和插座透镜(6)可移动的光分路器(7)将干扰的图片-马赫“具有集成曾德尔干涉仪光分路器，相位移元件(8)，光学补偿器(9)，反射器(10)的透镜(11)和两个坐标接收器(12)，通过模拟-数字转换器(13)连接到计算机(14)。所测对象(5)放置在准直仪(4)和插座透镜(6)。 |
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