| 一种直线电机高精度位移平台 |
| CN202310716034.X 2023-6-16 发明申请 |
| 2023-9-22 |
| 本发明公开了一种直线电机高精度位移平台，属于精密工程技术领域。一种直线电机高精度位移平台，包括：下台面，所述下台面上侧通过移动模块区连接有上台面；本发明中，通过在下台面、上台面之间的移动模块区内设置X向第一移动模块、X向第二移动模块、Y向移动模块搭配三套直线电机组件，以交叉滚柱导轨和盘面轴承一导向，一套一体式从动模块为从动，搭配三个高分辨率光栅编码器，实现了±0.3μm内的重复精度，且配合外部设备激光干涉仪的运用可以大幅度提升该位移平台的定位精度，使其能适用于科学研究、工业制造和精密仪器的制造和校准。 |
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