产业专利数据
 
多光束扫描电子显微镜工具的自参考健康监测系统
 
TW109129262  2020-8-27  发明申请
2021-6-16
 
  本发明揭示用于影像增强之系统及方法。一种用于增强一影像之方法可包括接收在一成像程序中该多光束系统之光束的一效能度量之纪录每一纪录与一光束相关联。该方法亦可包括基于使用该等纪录之一部分所判定的一基线值来判定是否出现一光束之一异常。该方法可进一步包括回应于已出现该异常之判定而提供一异常指示。-.
 
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