| 共路激光干涉仪 |
| CN200910069745.2 2009-7-16 发明申请 |
| 2010-1-20 |
| 本发明涉及一种共路激光干涉仪，它包括激光器、偏振分光镜、反射镜、衍射光栅、 偏振片、凸透镜和光电探测器，在激光器发出光束方向上放置偏振分光镜，偏振分光镜的 分光面与激光器发出光束方向成45°；在偏振分光镜的分光面方向上的上侧和下侧分别放 置反射镜和衍射光栅；在出射光的方向上依次放置偏振片、凸透镜和光电探测器，这三个 元件的光轴方向与偏振分光镜的分光面成45°，与激光器发出光束方向成90°。本发明应用 于纳米级和亚纳米级位移的测量。将激光多普勒技术与激光偏振干涉技术相结合，增强光 路对外界环境的抗干扰能力，提高了激光干涉仪的测量分辨力和精度。 |
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