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小型微纳米级三坐标测量机

CN201310423951.5 2013-9-17 发明申请

2015-3-25

小型微纳米级三坐标测量机属于监控量领域，尤其是涉及一种氢原子钟智能化监控系统。本发明提供一种成本较低的一种小型微纳米级三坐标测量机。本发明包括基座，其结构要点是：基座上设置有工作台部件，工作台部件上设置有纳米定位工作台；基座上还设置有桥架，桥架上设置有CCD组件和测头。