| 一种硅片硬度测试机 |
| CN201610511779.2 2016-6-30 发明申请 |
| 2018-1-9 |
| 本发明公开一种硅片硬度测试机，所述底座，所述底座上端面的中间处设置有用于承载硅片的底板，且底座上设置有门字形结构的框架，所述框架可前后移动的设置于底座上，所述框架的横梁上可上下移动的设置有装夹机构，所述装夹机构由驱动装置驱动，所述装夹机构上可拆卸的安装有铅笔。所述一种硅片硬度测试机通过装夹机构固定铅笔，拆装方便，且通过框架带动铅笔前后移动，进而可使得铅笔在硅片表面划动，从而可测试出硅片的硬度，结构简单、易于实现。 |
微信公众号