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扫描电镜二次电子自旋极化分析方法2及装置

JP2020510273 2018-3-27 发明申请

2021-2-12

所述扫描电镜，二次电子自旋极化从样品2发射来测量自旋探测器，所述自旋探测器测量数据分析装置，包括。在测量数据中，分析器的二次电子自旋极化局部地变化以确定区域2的宽度。此外，分析装置可以基于宽度上的应变来评估样品。本发明提供一种扫描电镜，其能够进行失真分析精度高的磁性材料的构成。