用于非抽头模式散射型扫描近场光学显微镜的系统和方法
 
US16963917  2019-1-22  发明申请

2021-2-11
 
  用于实现峰值力散射扫描近场光学显微镜(PF-SnOM)的系统,装置和方法。 传统的散射型显微镜(S-SnOM)技术使用抽头模式操作和锁定检测,其不能提供具有明确尖端-样品距离的直接断层扫描信息。 使用峰值力散射型扫描近场光学显微镜以及峰值力抽头模式和时间门控光检测的组合,PF-SnOM能够从样品表面直接分割垂直近场信号,用于三维近场成像和光谱分析。 PF-SnOM还提供5nm的空间分辨率,并且可以与光学近场信号一起同时测量机械和电性能。
 
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