| 一种显微镜的锁焦探测系统 |
| CN202120408894.3 2021-2-25 实用新型 |
| 2021-12-14 |
| 本实用新型公开了一种显微镜的锁焦探测系统,该方法包括,锁焦探测模组探测物镜和样品之间距离的变化量,并将距离的变化量发送至锁焦控制器,锁焦控制器输出移动距离至Z轴位移器,Z轴位移器移动距离带动物镜1进行移动,将物镜和样品的间距保持在预设的焦距值内。本实用新型抛开横向放大率作为光学尺寸的放大,采用轴向放大率作为光学放大率,将轴向放大率测量出来,轴向放大率会正比于横向放大率的平方,做到更加精密的探测。 |