| 干涉散射显微镜 |
| KR1020210072771 2021-6-4 发明申请 |
| 2021-12-14 |
| 本发明涉及一种干涉散射显微镜， 根据本发明的一个实施例的干涉-散射显微镜是样品10， 光源(20)，用于检查放置样品(1)的入射光； 样品1， 入射到光源20的入射光IL是入射到试样1的入射光IL， 以及样品(1)，第一物镜(30)，其收集包含来自反射光的散射光的输出光和从样品和样品的边界反射的样品。 第一远心透镜40， 第一远心透镜40， 收集在第一物镜30中的输出光被放置在第二物镜50的焦点空间中， 第二物镜50， 透射聚集在聚焦空间中的输出光(OL)， 透射的输出光(OL)被反射向第二物镜50， 以及可移动移动距离60， 可沿输出光(OL)的光轴方向移动， 在移动距离(60)内反射后，包括：第一检测器，用于检测收集在第一管透镜内的输出光；以及第一管透镜，用于收集由第二物镜收集的输出光。 |
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