| 成膜装置的一体化显微镜 |
| JP2020093058 2020-5-28 发明申请 |
| 2021-12-13 |
| 本发明的目的在于提供一种将成膜装置和显微镜一体化的成膜装置。解决手段包括扫描探针显微镜和成膜装置， 扫描探针显微镜具有内部被控制以进行测量的腔室和用于附着设置在腔室内的样品的载物台部分， 所述沉积装置具有用于成膜的成膜室和用于成膜的基板的固定部分，所述固定部分布置在所述沉积室中，并且所述室和所述沉积室在连接部分中连接。 其特征在于，具有用于使样品在室和沉积室之间通过的传送装置，该传送装置穿过互连部分。 |
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