| 扫描探针显微镜和扫描探针显微镜系统以及用于检查试样表面的方法 |
| DE102020126414 2020-10-8 发明授权 |
| 2021-12-9 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜(12)，其具有(a)第一驱动器(14.1)，(b)第二驱动器(14.2)，(c)第三驱动器(14.3)，(d)第四驱动器(14.4)，(e)第五驱动器(14.5)和(f)探针(16)，所述探针能够借助于所述驱动器(14)移动。根据本发明规定，(g)探针(16)能够借助于驱动器(14)在五个自由度上运动，并且(h)扫描探针显微镜(12)构造为微系统。 |
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