| 配备有光学测量装置的原子力显微镜及使用该显微镜获取被测物体表面数据的方法 |
| KR1020200065915 2020-6-1 发明申请 |
| 2021-12-9 |
| 本发明涉及一种具有光学测量装置的原子显微镜，该光学测量装置通过使用由原子显微镜获得的形状信息参考所提取的特性值由光学测量装置获得形状信息，以及一种获得测量表面的信息的方法 使用它的物体。 配备有根据本发明一个实施例的光学测量装置的原子显微镜， 使用支撑测量对象的XY扫描仪，在XY平面原子显微镜上扫描测量对象以获得测量对象表面的特性的同时，探头(Probe)跟随测量对象表面； 光学测量装置，其通过XY扫描器的扫描获得测量对象的表面的特性； 包括：照明单元，其将光入射到测量对象的表面；以及检测单元，其检测从测量对象的表面反射的光； 以及控制装置，用于控制原子显微镜和光学测量装置的操作，并接收从原子显微镜和光学测量装置获得的数据； 包括。 控制装置被控制为使得由原子显微镜测量的位置和由光学测量装置测量的位置能够彼此匹配。 |
微信公众号