| 测量仪器的气路保护系统 |
| CN202310231085.3 2023-3-1 发明申请 |
| 2023-5-16 |
| 本公开描述了一种测量仪器的气路保护系统，包括气源模块、用于向运动模组供气的供气模块、传感模块、以及电子开关，供气模块包括用于向平衡机构供气的第一气路和用于向Z轴气浮机构供气的第二气路；传感模块包括设置于气源模块与供气模块之间的第一传感单元和设置于第一气路的第二传感单元；电子开关设置于第二气路以用于控制第二气路的通断；电子开关配置为基于第一传感单元的压力信号和第二传感单元的压力信号控制第二气路的通断。根据本公开，能够提供一种保护测量仪器的Z轴，并且能够提高测量仪器的测量精度和测量稳定性的气路保护系统。 |
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