| 基于光干涉原理的直线度干涉测量方法 |
| CN202310339647.6 2020-12-25 发明申请 |
| 2023-5-26 |
| 本公开提供一种基于光干涉原理的直线度干涉测量方法，是利用直线度干涉测量装置进行测量的测量方法，测量装置包括干涉仪主机系统、双渥拉斯顿棱镜和双面直角屋脊反射镜，干涉仪主机系统包括激光发射光学系统和探测接收单元，测量方法包括：激光发射光学系统发射测量光束，测量光束经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光，两束正交偏振的光经过双面直角屋脊反射镜反射至双渥拉斯顿棱镜合为一束光并发生干涉，探测接收单元接收并解析发生干涉的光以得到相对距离信息，通过移动所述双渥拉斯顿棱镜，得到直线导轨上不同点位的相对距离信息并解算出直线导轨的直线度误差。根据本公开，能够显著提高直线度干涉测量方法的测量精度。 |
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