| 具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置 |
| CN202310349143.2 2020-12-25 发明申请 |
| 2023-6-6 |
| 本公开提供一种具有平行光束偏光元件的直线度干涉测量装置，包括：干涉仪主机系统，包括激光发射光学系统和探测接收单元，激光发射光学系统发射测量光束，探测接收单元解析干涉信号；双渥拉斯顿棱镜，测量光束经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光；双面直角屋脊反射镜，两束正交偏振的光经过双面直角屋脊反射镜反射后回到探测接收单元；以及平行光束偏光元件，发射的测量光束先经过平行光束偏光元件，再经过双渥拉斯顿棱镜后分成两束正交偏振的光。根据本公开，能够显著提高直线度干涉测量装置的测量精度并能够消除现有直线度干涉测量装置存在测量盲区的问题。 |
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