| 一种基于非稳频光源的激光干涉仪 |
| CN202310061257.7 2023-1-19 发明申请 |
| 2023-6-13 |
| 本发明公开了一种基于非稳频光源的激光干涉仪，其特点是该激光干涉仪由非稳频窄线宽激光器、第一分束器与参考模块和探测模块组成，所述非稳频窄线宽激光器1经第一分束器分为两激光光源，一激光光源通过参考模块用于激光波长的频率检测，另一激光光源通过探测模块用于目标位移检测；所述参考模块测量获得的激光波长用于修正探测模块的测量结果，实现高精度位移检测。本发明与现有技术相比无需锁定激光频率，就能满足工业应用的前提下减小激光干涉仪的体积与成本，且激光干涉仪工作波长、器件的选取不再受到频率参考器件影响，令干涉仪的使用更为灵活、便捷，结构简单，稳定性高，进一步拓宽了激光干涉仪在工业环境中的应用场景。 |
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