| 中红外宽光谱激光干涉仪 |
| CN202310901392.8 2023-7-21 发明申请 |
| 2023-10-17 |
| 一种中红外宽光谱激光干涉仪，其构成包括标准反射镜、待测透镜、标准透射镜、准直镜组、分光镜、分光棱镜、孔径光阑、成像镜组、红外探测器、探测器移动导轨、对点光屏、激光器、计算机。本发明结构简单，可实现较高冷阑效率；本发明中准直镜组与成像镜组均由三片独立的单透镜构成，两者所使用材料相同，可对3μm～5μm波段内任一波长处激光进行干涉测量，并实现在工作波段内的超消色差。本发明属于多波长平面激光干涉仪，可实现在多种波长下，对凸面或凹面光学元件的波前参数进行高精度测量。 |
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