| 轮廓测量装置及轮廓测量方法 |
| CN202311727107.1 2023-12-14 发明申请 |
| 2024-3-1 |
| 本公开描述一种轮廓测量装置及轮廓测量方法，轮廓测量装置包括测量机构、驱动机构以及控制单元，驱动机构配置为驱动测量机构相对于待测物体移动，测量机构包括扫描单元和缓冲单元，扫描单元包括测杆以及连接于测杆的一端且配置为接触待测物体的测针，测杆配置为随测针的位置变化绕旋转中心往复摆动，缓冲单元包括阻挡部和驱动部，控制单元配置为基于预设值以及测杆的摆动位置获取阻挡部运动的目标行程，驱动部驱动阻挡部运动目标行程以使阻挡部与测杆保持预设间距，测杆配置为在测针脱离待测物体时朝阻挡部摆动并抵接于阻挡部。由此，能够提供一种能够在测量过程中对测针进行保护的轮廓测量装置。 |
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