| 一种二等量块接触式激光干涉仪 |
| CN200820220008.9 2008-11-28 实用新型 |
| 2009-9-9 |
| 一种二等量块接触式激光干涉仪，包括激光干涉系统、定位计数系统、环境参数测量系 统和计算机，在激光干涉系统中He-Ne激光器连接激光稳频器，激光稳频器水平前方设有第 一转向棱镜，第一转向棱镜竖直下方依次设有光栏、准直光管、第二转向棱镜、移相分光镜、 参考镜，第二转向棱镜左右水平两侧分别设有两个第一光电转换器，移相分光镜水平一侧设 有转向镜，转向镜竖直下方依次设有定位控制器、测量棱镜、光电控制测力稳定传感器和测 头，与移相分光镜设有转向镜相对的一面水平设有第二光电转换器。本实用新型的优点是直 接测量、自动采集、反馈、读数、精度高、稳定性好、无需量块与平晶研合来、操作简单。 |
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