| 操作粒子束显微镜的方法 |
| DE102020113502 2020-5-19 发明申请 |
| 2021-11-25 |
| 一种操作粒子束显微镜的方法，包括：调节物体与物镜的距离，以将物镜的激励设置为第一调节，从而将双偏转器的激励设置为第一调节，使得粒子束在第一调节之下撞击到物体上。 以及在所述设置处接收第一粒子显微图像。 还包括将所述双偏转器的激励调节为第二调节，使得所述粒子束在不同于所述第一取向的第二取向下撞击所述物体，以及在所述双偏转器的所述第二调节处接收第二粒子显微图像。 然后基于对第一和第二粒子显微图像的分析来确定物体距物镜的新距离，并将物体距物镜的距离调整到新距离。 |
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