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电子束检测元件,电子显微镜,透射电子显微镜
JP2021131285 2021-8-11 发明申请
2021-11-25
“问题”提供一种电子束检测元件,其能够降低电子枪处于不活动状态时二极管的功耗。 “解决装置”检测单元230具有用作开关的MOS晶体管201,雪崩放大二极管202和淬火电阻元件203。 控制单元,根据控制信号的信号电平的变化将电子枪从非活动状态转换到活动状态,将二极管202从非活动状态转换到活动状态。 图3是选择图。
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