| 电子束偏转装置、扫描电子显微镜以及电子束曝光机 |
| CN202110965148.9 2021-8-20 发明申请 |
| 2021-11-23 |
| 本申请提供了一种电子束偏转装置、扫描电子显微镜以及电子束曝光机，所述电子束偏转装置包括：壳体，具有电子束的入射端和出射端，所述入射端和所述出射端限定了所述电子束的传输通道；偏转组件，位于在所述壳体内，且围绕所述传输通道设置；电子束通过孔，位于所述入射端，且与所述传输通道连通，用于限定进入所述传输通道的电子束的尺寸。本申请提出的电子束偏转装置，可以减少偏轴电子对电子束束斑尺寸的影响。 |
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