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基片平整度检测探头结构

CN201120265447.3 2011-7-26 实用新型

2012-5-16

本实用新型公开了一种基片平整度检测探头结构，包括一工作台，其中，所述工作台水平设于一平台上，所述工作台正上方设置一激光干涉仪探头。本实用新型基片平整度检测探头结构，通过该装置能够自动对基片的平整度进行检测，减少了人工检测导致的精度不高的问题，能有有效地提高产品的良品率。