| 激光扫描显微镜，激光扫描显微镜系统和激光烧蚀系统 |
| JP2021080810 2021-5-12 发明申请 |
| 2021-11-18 |
| [问题]具有高精度的激光扫描显微镜系统的激光扫描图案和所需的扫描激光扫描显微镜，激光烧蚀系统能够提供精确的质谱分析。 [解决方案]激光扫描显微镜2102，从激光源10发出的激光在扫描光学系统5的表面和L1s样品，样品表面处或附近提供用于聚焦来自成像装置26的观察光的观察光学系统7107。 扫描光学系统， 利用这两个11， 12°F透镜， 第一透镜1是物镜13和15， 从光源射向样品表面的激光依次排列， 在观察光学系统中，物镜和聚焦透镜24为2个，从样品表面朝向成像元件依次排列，F透镜的焦平面与成像表面的共焦位置设定。 图1[附图] |
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