| 激光干涉仪中的准直与调焦机构 |
| CN201220280186.7 2012-6-14 实用新型 |
| 2013-2-6 |
| 本实用新型公开一种激光干涉仪中的准直与调焦机构，包括调焦系统、准直系统，所述调焦系统固定安装于小直线导轨的小滑块上，所述小直线导轨和所述准直系统固定于一基板上表面，此基板固定安装于大直线导轨的大滑块上；所述小滑块由滑块本体和固定于滑块本体外侧端的轴承座块组成，此轴承座块的外侧部具有一内置有向心关节轴承的凹槽区；一固定支架一端固定于所述基板上，一移动杠杆一端安装到所述凹槽区内向心关节轴承上，移动杠杆的中部与支点组件活动连接，一伸缩部件位于所述固定支架另一端和移动杠杆另一端之间。本实用新型准直与调焦机构，结构简单、故障率低，实现了干涉仪中调焦系统和准直系统之间的位置切换，并实现了手动式可操作的调节干涉仪的图像清晰度，提高检测精度。 |
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