| 实现传输和聚焦超快扫描电子显微镜泵浦光的方法及系统 |
| CN202110911134.9 2021-8-9 发明申请 |
| 2021-11-16 |
| 本发明涉及一种实现传输和聚焦超快扫描电子显微镜泵浦光的方法及系统，方法包括：在扫描电子显微镜的极靴下放置抛物面反射镜；外部激光引入扫描电子显微镜入射到抛物面反射镜，通过调节抛物面反射镜的位置和角度，使得激光由抛物面反射镜汇聚到待测样品表面形成圆形光斑，其中，待测样品位于抛物面反射镜的焦点处。本发明提出采用抛物面反射镜来传输和聚焦泵浦激光的方法，抛物面反射镜通过安装在扫描电镜极靴正下方的一个可伸缩的高精度三维电控位移台，可精确调节泵浦飞秒激光到达样品处光斑的直径大小和位置，有效提升超快扫描电子显微镜在微区载流子动力学测量方面的性能。 |
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