一种显微镜锁焦系统
 
CN202120583464.5  2021-3-22  实用新型

2021-11-16
 
  本实用新型公开了一种显微镜锁焦系统,包括探测光源、半透半反镜、二向色镜、显微镜管镜、显微镜物镜、第一透镜、分束镜、第一狭缝元件、第二狭缝元件、第一雪崩二极管以及第二雪崩二极管;入射光束依次经过半透半反镜、二向色镜、显微镜管镜以及显微镜物镜射入样品的载玻片;反射光束依次经过显微镜物镜、显微镜管镜、二向色镜、半透半反镜以及第一透镜射入分束镜;分束镜将反射光束分成第一光束和第二光束,分别射入第一雪崩二极管和第二雪崩二极管;分束镜位于光束汇聚焦点以及第一透镜之间第一雪崩二极管至分束镜的距离与第二雪崩二极管至光束汇聚焦点的距离之和,等于分束镜至光束汇聚焦点的距离。通过实施本实用新型能提高锁焦精度。
 
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