产业专利数据
 
扫描式电子显微镜
 
TW109101391  2020-1-15  发明申请
2021-11-16
 
  对于大束流的应用特别是缺陷检测一种浸没式物镜位于滑台下使得数个侦测器可以位于样品的表面。浸没式物镜的中央极靴可以提供类似磁单极的方式应用在电子束。俄歇电子在缺陷检测的时候也可以用来分析样品的材料。.-
 
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