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电子显微镜样品台座及样品截面观察方法
JP2020082618 2020-5-8 发明申请
2021-11-11
“问题”当使用扫描电子显微镜重复样品的横截面观察时,保持扫描电子显微镜的高分辨率。 “解决方法”是用于将放置试料的试料台支撑固定在电子显微镜的试料安装部分的基座,具备柱状的基座主体,设置在基座主体的一个面上,能够安装试料台的试料台安装孔,设置在基座主体的另一个面上,在电子显微镜的试料安装部分安装基座的基座安装孔,台座主体为非磁性。 图1是选择图。
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