| 模块化扫描探针显微镜头 |
| US17313743 2021-5-6 发明申请 |
| 2021-11-11 |
| 1一种装置，包括：扫描探针显微镜头，其具有被构造成装配在低温恒温器的插入件内的框架，以及扫描器，探针和样品保持器，所有这些都设置在框架内； 以及设置在所述框架内的粗电机组件，所述粗电机组件包括：可定位部件； 粗电机。 所述粗电机被配置为沿x轴，y轴和z轴相对于所述框架移动所述可定位部件。 该设备还包括具有插头/插座装置的一半的通用电底座连接。 插头/插座装置被配置成当扫描探针显微镜头下降到基座上时，在扫描探针显微镜头和基座之间提供电连通，基座具有插头/插座装置的第二半部分。 |
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