| 模块化扫描探针显微镜头的减震底座 |
| WOUS21031120 2021-5-6 发明申请 |
| 2021-11-11 |
| 一种装置，包括扫描探针显微镜底座(112)，该底座包括框架(130)，该框架被构造成固定到低温恒温器中的插入件的端部； 顶部(134)，其被构造成连接到扫描探针显微镜头的基底，扫描探针显微镜头被构造成设置在插入件内部； 以及设置在框架和顶部之间的阻尼系统，该阻尼系统包括波纹管(150)，该波纹管密封插入件的端部。 该密封将插入件中的超高真空(UHV)环境与围绕插入件端部的高真空(HV)环境分开，并且还将顶部的上表面定位在UHV环境中。 |
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