| 用于调节扫描透射电子显微镜的系统和方法 |
| JP2021020734 2021-2-12 发明申请 |
| 2021-11-4 |
| [问题]为了方便，光学系统的调节是扫描透射电子显微镜。 [解决方案]一种用于获得扫描透射电子显微镜的扫描电子探针样品，包括： 一种聚焦透镜和物镜，包括光学系统， 设置物镜后焦面或共轭面后焦面， 成像装置拍摄[Ronkiguramu[Ronkiguramu]， 光学系统控制部的调整， 其中，控制部，对因探针与试样的相对位置关系的变化而变化的E[Ronkiguramu[Ronkiguramu]的处理进行取得，基于[Ronkiguramu]的变化，[Ronkiguramu[Ronkiguramu]确定处理的中心，进行扫描透射电子显微镜。 |
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