| 用于扫描探针显微镜的频率梳反馈控制 |
| US17251650 2019-7-23 发明申请 |
| 2021-9-30 |
| 为了满足人们的需要， 特别是， 半导体工业需要更精细的光刻节点， 一种用于扫描探针显微镜的反馈控制方法，通过用来自激光器(90)的电磁辐射的锁模脉冲照射探针尖端电极(80)和样品电极(20)之间的隧道结(10)，在该结中产生谐波的微波频率梳。 利用微波频率梳内的一个或多个谐波内的功率测量，隧道结中的尖端-样本距离可以由反馈控制(40)调节，该反馈控制利用极值搜索算法以达到最大效率，并且当与电阻样本一起使用时避免尖端碰撞。 理想地，使用该方法不需要外部提供的DC偏压。 利用该方法有助于电阻样品如半导体中载流子分布图像的真实亚纳米分辨率。 |
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