| 滤光装置，光学显微镜和缺陷观察装置 |
| WOJP20012940 2020-3-24 发明申请 |
| 2021-9-30 |
| 本发明是一种滤光装置，包括：快门(212)，其具有轴部并具有可开闭的构造； 以及具有快门开口部(264)的基板(201)， 该滤光装置具有在快门(212)和基板(201)之间施加电压的结构， 快门(212)绕轴部旋转并移动到快门打开部(264)，从而进入打开状态， 并且将快门的打开角度(280)调整为小于90度。因此， 防止作为缺陷观察装置的部件的光学显微镜用滤光装置的快门的疲劳断裂，能够延长快门阵列装置的寿命。 |
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