| 电子枪和电子显微镜 |
| WOJP20013195 2020-3-25 发明申请 |
| 2021-9-30 |
| 提供一种使用具有平面光电膜的光电阴极的电子枪； 以及使用该电镜的电子显微镜。 第一阳极和第二阳极电极设置在电子枪上以产生加速/减速电场， 透镜电场使得可以用从光电膜的离轴部分发射的电子束照射样品而不会被差动排气光阑遮挡， 并且即使在需要高真空度的高亮度光电阴极中也可以使用宽范围的离轴电子束。 这使得能够延长光电膜和电子枪的寿命，稳定和增加亮度。 另外， 可以容易地控制从光电膜上的多个位置发射的电子束， 从多个位置发射电子束的定时控制，以及使用来自多个位置的电子束控制电子显微镜中的电子束条件。 |
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