| 一种改进型平面反射镜激光干涉仪 |
| CN201520184463.8 2015-3-30 实用新型 |
| 2015-7-1 |
| 本实用新型公开了一种改进型平面反射镜激光干涉仪，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微动平台上，微动平台优选为压电陶瓷。该一种改进型平面反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微动平面反射镜发生位移，配合测量平面反射镜、激光源、分光镜、光电探测器，能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分，可以进一步提高激光干涉仪的测量精度。 |
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