| 一种潘式扫描探针显微镜 |
| CN202022028777.2 2020-9-16 实用新型 |
| 2021-5-4 |
| 本实用新型涉及精密成像技术领域，具体而言，涉及一种潘式扫描探针显微镜。包括电学屏蔽箱、样品台、减震弹簧、扫描成像部件和驱动部件。本实用新型通过驱动部件实现扫描成像部件的纳米级线性位移，并逐步靠近待测样品，进一步地，借助三维精密扫描部件对针尖进行皮米级的精准定位从而完成扫描成像。利用涡流阻尼部件、屏蔽箱和减震弹簧有效抑制室温大气环境中的声学噪声和电学噪声。本实用新型结构紧凑、重量轻、减震荷载小、可以达到原子级空间分辨、兼备扫描隧道成像模式和原子力成像模式、并保留潘式探头操作简易的优势，尤其适用于室温大气甚至液相环境等复杂体系下的表面表征。 |
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