| 一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪 |
| CN201520455814.4 2015-6-29 实用新型 |
| 2015-10-21 |
| 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台，所述微动阶梯角反射镜设置在所述磁性微位移平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，实现抗干扰的目的。 |
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