| 一种多功能MOCVD在线红外监测探头 |
| CN201520636482.X 2015-8-21 实用新型 |
| 2015-12-23 |
| 本实用新型公开了一种多功能MOCVD在线红外监测探头，包括一个监测探头盒体，在盒体内设有若干个上下分布的圆柱状的分光片腔，各分光片腔内放置有呈角度分布的分光片或滤光片；各分光片腔腔体之间有同轴的进光孔，在盒体侧壁、分光片腔顶部和分光片腔下方分别设有进光孔或出光孔；盒体顶部和侧壁分别设有光感探测器，中部分光片腔和下部对应的盒体侧壁设激光器，上、中部和下部分光片腔的盒体侧壁设置的光感探测器或激光器分别交错分布；光感探测器或激光器与对应的电路板相连，电路板连接至上位机。本实用新型通过三种红外辐射温度值与两个波长的激光干涉曲线，能够实现相互校正，增加了监测的准确率，提高了监测仪的集成度。 |
微信公众号