| 一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪 |
| CN201520362242.5 2015-5-29 实用新型 |
| 2016-1-20 |
| 本实用新型公开了一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜和分光镜组，还包括有反射测量光电探测器，激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束，所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度，根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态，如此实现抗环境干扰的目的。 |
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