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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

高灵敏度，低热偏转，应力匹配的原子力显微镜和扫描热显微镜探头

US16565562 2019-9-10 发明申请

2021-3-11

一种扫描探针显微镜，包括：悬臂结构；以及在悬臂结构上的金属化层。悬臂结构和金属化层在热负载时以相等的速率膨胀和收缩。悬臂结构和金属化层可以包括匹配的热膨胀系数水平。悬臂结构可以包括SiN。金属化层可以包括50nm的Ti。金属化层可以包括50nm的Cr。金属化层可以包括5nm的Ti和45nm的Ge。悬臂结构可以不包括热致偏转。