| 扫描探针显微镜及其驱动控制装置 |
| WOJP20032335 2020-8-27 发明申请 |
| 2021-3-11 |
| 本发明提供了一种扫描探针显微镜的驱动控制电路，其能够在不改变驱动器的情况下进行高速扫描； 以及具有该驱动控制电路的扫描探针显微镜。 用于扫描探针显微镜的驱动控制电路根据驱动信号向致动器施加驱动信号。 本发明的驱动控制电路的特征在于，输出将基于驱动器(例如扫描器，悬臂等)的位移量的信号与对应于期望的位移量的扫描信号相加而得到的信号作为驱动信号。 驱动控制电路最好输出通过将与驱动器的位移量的二阶微分成比例的信号加到扫描信号上而获得的信号作为驱动信号。 |
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