| 一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪 |
| CN201520965940.4 2015-11-27 实用新型 |
| 2017-1-4 |
| 本实用新型公开了一种波长修正式多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、测量角反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m 1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，测量角反射镜装置包括测量角反射装置与精密位置装置。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。 |
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