| 用于测量样品表面结构的显微镜装置和方法以及衍射光学元件 |
| WOEP21055388 2021-3-3 发明申请 |
| 2021-11-4 |
| 本发明涉及一种用于测量样品(100)的表面的表面结构的显微镜装置。 该显微镜装置包括衍射光学元件(DOE；1)，用于产生光束(10)的激光器(2)，样品保持器(8)，检测器(4)和样品(100)。 样品(100)被放置在样品保持器(8)中，DOE(1)被设计和布置在光束(10)的光束路径中，并且相对于样品(100)，DOE(1)被设计和布置成使得DOE透射光束的一部分作为扩散光 测量光束(20)，其在样品(100)的表面上产生斑点阵列(50)。 此外，DOE(1)设计成反射光束(10)的另一部分以形成至少一个参考光束(30)。 样品(100)和DOE(1)相对于彼此定位，使得在每种情况下由样品(100)反射通过DOE(1)的至少一个测量光束(20)与至少一个参考光束之一形成叠加光束对(40) 梁(30)。 本发明还涉及一种用于测量样品(100)的表面的表面结构的方法以及一种衍射光学元件(DOE；1)。 |
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