| 多环掩模，光照射装置，光学显微镜和光声显微镜 |
| WOJP21001880 2021-1-20 发明申请 |
| 2021-11-4 |
| 光照射装置将光会聚到物体的表面或内部以观察或处理物体，并且包括激光光源，透镜，透镜，掩模，波片和透镜。 掩模14是多环掩模，其在空间上调制光束横截面中的输入光的强度并输出调制光， 并且包括围绕中心位置设置的多个环形遮光部，以及设置在多个遮光部中的两个相邻遮光部之间的透光部。 多个遮光部中的相邻的两个遮光部的径向宽度分别大于设置在两个遮光部之间的透光部的径向宽度。 由此，可以得到一种能够将光有效地聚光到衍射极限以下的区域的光照射装置。 |
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