| 用于执行声扫描探针显微镜检查的方法,系统和计算机程序 |
| EP20171890 2020-4-28 发明申请 |
| 2021-11-3 |
| 本发明涉及一种对衬底表面下的成像结构进行声扫描探针显微镜检查的方法, 包括:将频率高于1千兆赫的声输入信号施加到衬底,检测返回信号,以及分析返回信号以获得关于嵌入结构的信息。 施加声学输入信号的步骤包括施加多个声学信号分量,每个声学信号分量包括选定的频率。 检测步骤包括检测多个声信号分量中的每一个的响应信号。 选择这些频率,使得这些分量提供作为有限持续时间的脉冲信号的复合信号。 本发明还涉及扫描探针显微镜系统和计算机程序产品。 |