| 高精度复合式测量机的坐标统一标定器 |
| CN201620676564.1 2016-6-28 实用新型 |
| 2017-4-26 |
| 一种高精度复合式测量机的坐标统一标定器，是用于集图像传感器、接触式传感器和非接触位移传感器为一体的复合式坐标测量机的标定，包括圆柱体，所述圆柱体的上端面固定设置有圆锥台，所述圆锥台与所述圆柱体同轴设置。本实用新型以单个传感器已完成标定为前提，用一个标定器实现图像传感器、接触式传感器、非接触位移传感器的两两坐标或三者坐标统一，操作简单方便，标定效率高。可获得圆度、圆柱度、同轴度、垂直度等误差小于几十纳米级别的制件。图像传感器对锥顶圆一次成像，求取圆心；接触式传感器二维运动于圆柱表面取点，求取圆心，减少了多维运动带入的影响，从而减少了测量时的机械运动误差。有利于高精度复合测量机的坐标统一或位置标定。 |
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