| 用于原子力显微镜的样品台、测试系统 |
| CN202110935646.9 2021-8-16 发明申请 |
| 2021-11-2 |
| 本发明公开了一种用于原子力显微镜的样品台、测试系统。该样品台包括:底座,用于安装于原子力显微镜的载物台上;样品基座,设置于所述底座上,所述样品基座的背向所述底座的承载面用于放置待测样品,且所述样品基座上开设有至少两个安装孔,所述安装孔的一端穿过所述承载面;至少两个电极,所述电极设置于所述安装孔中,且所述电极的靠近承载面的电极顶端用于电连接所述待测样品的表面电极,所述电极的与所述电极顶端相对的电极底端用于电连接外部线路。在不改变原子力显微镜成像系统的基础上,对样品台进行改造,由于不需要通过焊接来引出表面电极,不会造成表面凹凸不平,且不采用夹紧方式引出,不会损坏样品。 |