| 原子力显微镜和使用原子力显微镜成像细颗粒的方法 |
| JP2020078126 2020-4-27 发明申请 |
| 2021-11-1 |
| “问题”提供一种能够高精度地成像细颗粒以测量粒径的原子力显微镜，以及使用原子力显微镜成像细颗粒的方法。 “解决装置”具有安装液体L的池14，具有导电性并浸渍在液体中配置的基板12，扫描基板12的表面的悬臂梁16，以及检测悬臂梁16在扫描时的位移量并将基板表面上存在的微细颗粒成像的成像处理部22。 此外，还包括设置在池14中面向基板12的位置的环路电极21，以及用于在基板12和环路电极21之间形成电场的电源20。 在基板12和环形电极21之间形成电场，并通过悬臂16扫描基板12的表面，以成像存在于基板12的表面上的细颗粒。 图1是选择图。 |
微信公众号